广州潽拓光电科技有限公司--爱发科涡轮分子泵维修维修;
分子泵常见的故障问题:
1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?
2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么会发黑?或者多长时间油才会变黑?
3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
4、分子泵轴承为什么会烧毁
5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形?
8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,怎么使用才安全?
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?
11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
12、分子泵是否对冷却有明确要求?如果风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现什么后果?
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是很佳方式?
14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?
15、分子泵叶片破碎的原因?
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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开,氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200Pa以下,则V2关闭,V3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40Pa以下,则V3关闭,V4打开,氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。
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在润滑方面,配备一种新型润滑剂,具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性,进一步提升真空泵组的安全性能,而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线,客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.
涡轮分子泵1500U技术参数
压缩比
Ar:>1X108
H2:6X103
He:2X105
N2:>1X108
抽速
Ar:1350l/s
H2:1150l/s
He:1350l/s
N2:1400l/s
进气口
DN250-ISO-K
极限真空重量
29KG
涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200,通讯接口RS-485,远程遥控(Profibus/DeviceNet型号供选择),多种配件供客户选择.
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